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分子泵抽速是什么

2025.10.10

抽速的定义与核心意义
定义:抽速是指分子泵在特定入口压力下,单位时间内能从被抽容器中抽除的气体体积。常用单位是升每秒(L/s)或立方米每小时(m³/h)。简言之,它反映了泵“吸气”有多快。
核心意义:抽速是分子泵Z核心的性能参数之一。它直接决定了:
排气时间:抽速越大,系统从大气压降至目标真空度所需的时间越短。
处理气体负载的能力:在存在工艺气体释放(如镀膜、刻蚀)或微漏的系统里,高抽速能更有效地维持稳定的工作压力。
系统性能:是设计真空系统、选择合适泵型的基础依据,直接影响整个系统的运行效率